高纯铝及合金 Al/AlSi/AlCu/AlSiCu

半导体芯片用高纯铝及合金溅射靶材,纯度≥5N5,晶粒尺寸平均≤100μm。

高纯铝及合金 Al/AlSi/AlCu/AlSiCu

产品介绍

半导体芯片用高纯铝及合金溅射靶材,纯度≥5N5,晶粒尺寸平均≤100μm。

技术参数

纯度≥ 5N5
密度2.7 g/cm³
晶粒尺寸平均 ≤ 100 μm
焊接方式EB / SB
BPOFC、6061
焊合率≥ 99%
氧含量≤ 10 ppm
取向立方织构占优
表面粗糙度≤ 0.4 μm
包装方式真空双层
高纯铜靶(Cu靶)
钛靶(Ti靶)

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